一、電子半導(dǎo)體廢水概況

電子半導(dǎo)體廢水主要來(lái)源于半導(dǎo)體研磨過(guò)程和集成電路的蝕刻、?鍍槽、?清洗等工序，?含有多種污染物，?包括磷、?氟離子、?超細(xì)顆粒物、?氨氮、?有機(jī)物COD、?重金屬離子等。?電子半導(dǎo)體廢水的來(lái)源主要包括半導(dǎo)體研磨過(guò)程中產(chǎn)生的廢水，?如酸堿廢水、?含氟廢水、?含磷廢水、?氨氮廢水以及半導(dǎo)體有機(jī)廢水等。?這些廢水還來(lái)源于集成電路的蝕刻、?鍍槽、?清洗等工序。?廢水中含有的污染物化學(xué)成分復(fù)雜，?包括磷、?氟離子、?超細(xì)顆粒物、?氨氮、?有機(jī)物COD（?化學(xué)需氧量）?、?重金屬離子等。?這些污染物對(duì)環(huán)境和人類健康構(gòu)成威脅，?因此，?電子半導(dǎo)體廢水處理和管理至關(guān)重要。??

二、案例分析

合作單位：上海某半導(dǎo)體制造有限公司

開(kāi)始合作時(shí)間：2023年7月

改造項(xiàng)目：一體化生化設(shè)備

現(xiàn)場(chǎng)主要是通過(guò)化學(xué)法去除各種污染指標(biāo)，沒(méi)有考慮過(guò)運(yùn)用生化。我們?nèi)∷M(jìn)行了水質(zhì)分析，發(fā)現(xiàn)其實(shí)是適合做生化處理的，但業(yè)主的意思是現(xiàn)階段效益不高，希望是能提供低價(jià)的方案。根據(jù)該公司電子半導(dǎo)體廢水處理 的情況，給其設(shè)計(jì)了一個(gè)一體化的生化設(shè)備，更好地處理了現(xiàn)場(chǎng)的超標(biāo)問(wèn)題，產(chǎn)生的費(fèi)用也在業(yè)主的可接受程度內(nèi)。

三、改造前COD和氨氮出水濃度

四、工藝說(shuō)明

（1）生化一體化設(shè)備（水解酸化+厭氧+好氧MBR）

水解酸化池

利用水解菌、酸化菌將水中不溶性有機(jī)物水解為溶解性有機(jī)物，將難生物降解的大分子物質(zhì)轉(zhuǎn)化為易生物降解的小分子物質(zhì)的過(guò)程，從而調(diào)整廢水的可生化性，為后續(xù)生化處理提供良好的水質(zhì)環(huán)境。增大B/C比，提高廢水可生化性同時(shí)去除廢水中的部分COD和氨氮。

好氧MBR膜池

好氧MBR膜池，作為新型分離技術(shù)，集成了傳統(tǒng)活性污泥法與膜分離工藝。該技術(shù)通過(guò)在曝氣池中集成結(jié)構(gòu)化MBR平片膜組件，實(shí)現(xiàn)好氧處理后的水經(jīng)膜過(guò)濾直接抽出，同時(shí)截留污泥與大分子有機(jī)物，省去了二沉池。此舉有效提升活性污泥濃度，靈活調(diào)控水力與污泥停留時(shí)間，推動(dòng)難降解物質(zhì)在反應(yīng)器內(nèi)持續(xù)降解，提升處理效率與水質(zhì)，達(dá)到深層去除COD、氨氮的作用。

（2）清水罐

清水罐，用作希潔藥劑處理混合反應(yīng)的一個(gè)1000L罐體。

（3）碳濾罐

對(duì)廢水殘余的COD、氨氮、SS等進(jìn)行有效的物理吸附，使出水水質(zhì)達(dá)標(biāo)。

五、改造處理后的效果

經(jīng)過(guò)上述電子半導(dǎo)體廢水處理的改造方案，該公司污水中的污染指標(biāo)，cod和氨氮處理后達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)，出水水質(zhì)達(dá)標(biāo)。

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